氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段，氣體廠家，也是保證安全生產的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。
氣體監(jiān)測和分析的重要性
隨著晶片的幾何結構縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質的沾污和極小的塵埃污染，也會給生產帶來嚴重的破壞性。
氮氣在常況下是一種無色無嗅的氣體，合肥氣體，在標準情況下的氣體密度是1.25g·dm-3，熔點63K（ -209.8℃），沸點75K（-195.6℃），臨界溫度為126K，它是個難于液化的氣體，在水中的溶解度很小，在283K時，一體積水約可溶解0.02體積的N2。氮氣在極低溫下會液化成白色液體，工業(yè)氣體價格，進一步降低溫度時，更會形成白色晶狀固體，高純工業(yè)氣體，通常市場上供應的氮氣都盛于黑色氣體瓶中保存，不能燃燒，也不支持燃燒，不易溶于水。
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